市面上很多膜厚儀探頭方案單一，只有一種光斑規(guī)格，要么只能做大光斑大面積平均檢測，無法檢測芯片、微型光學(xué)元件微小區(qū)域；要么只有小聚焦光斑，掃描整片基板效率低下。產(chǎn)線安裝空間各不相同，部分工位安裝距離受限，普通設(shè)備安裝距離窗口窄，對機(jī)械安裝精度要求嚴(yán)苛，現(xiàn)場調(diào)試難度大。部分設(shè)備不區(qū)分紫外與近紅外型號，特殊波段薄膜檢測信噪比不足，用戶只能采購多臺不同儀器，購置成本大幅上升。